SF6是一种无色、无臭、无毒和无腐蚀性的化合物。在常温常态下呈气体，为不燃体，是化学稳定性的非金属氧化物。由于六氟化硫气体具有优良的化学热稳定性，在保证纯度的情况下，500度温度下也不会被分解。由具有优良的绝缘性和减弧能力，即使在电弧下发生瞬间分解、电离，但在电弧削减后也能很迅速的回复原有的稳定状态，故利用他的高度化学稳定性和出色的电器绝缘特性，广泛的利用电气工业和超高压绝缘材料。此外它还具有传热系数大，冷却效果好的特点。